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电子级超纯水设备

 

 

(水质符合美国ASTM标准,电子部超纯水水质标准(18MΩ*cm,15MΩ*cm,2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四级)
典型超纯水工艺:
●预处理-一级反渗透-RO水箱--=-增压泵----混床系统-纯水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象
●预处理-二级反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象
●预处理-二级反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-抛光混床-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象

 


应用场合
· 半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路;
· 超纯材料和超纯化学试剂;
· 实验室和中试车间
· 汽车、家电表面抛光处理;
· 其他高科技精微产品。

 

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