(水质符合美国ASTM标准，电子部超纯水水质标准（18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四级)
典型超纯水工艺：
●预处理－一级反渗透－RO水箱--=-增压泵----混床系统－纯水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－0.2或0.5μm精密过滤器－用水对象
●预处理－二级反渗透－中间水箱－水泵－EDI装置－纯水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－0.2或0.5μm精密过滤器－用水对象
●预处理－二级反渗透－中间水箱－水泵－EDI装置－纯水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－抛光混床－0.2或0.5μm精密过滤器－用水对象

 

应用场合
· 半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路；
· 超纯材料和超纯化学试剂；
· 实验室和中试车间
· 汽车、家电表面抛光处理；
· 其他高科技精微产品。